رشد منظم و عمودی نانو میلههای دیاکسید تیتانیوم بر روی میکرو آرایههای سیلیکانی لایهنشانیشده با اکسید قلع آلاییدهشده با فلوئور به روش نبولایزر | ||
| نشریه مهندسی مکانیک امیرکبیر | ||
| مقاله 17، دوره 53، شماره 6 (Special Issue)، شهریور 1400، صفحه 4051-4062 اصل مقاله (1.79 M) | ||
| نوع مقاله: مقاله پژوهشی | ||
| شناسه دیجیتال (DOI): 10.22060/mej.2021.19369.7010 | ||
| نویسندگان | ||
| امیر قاسمی کردلر1؛ جواد کوهسرخی* 2 | ||
| 1دانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران | ||
| 2عضو هیات علمی دانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران | ||
| چکیده | ||
| دراین مقاله، لایههای اکسید قلع آلاییدهشده با فلوئور بهعنوان الکترود و بذر رشد نانومیلههای دیاکسید تیتانیوم به روش لایهنشانی افشانه داغ مبتنی بر تکنیک نبولایزر بر روی میکرو آرایههای سیلیکان ایجاد شدهاست. لایهنشانی این لایه روی لایه اکسید قلع آلاییدهشده با فلوئور از اهمیت بالایی برای ساخت نانوژنراتورهای مبتنی بر باریم تیتانات است که در این مقاله از دو روش نبولایزرو و هیدروترمال استفاده شدهاست. تأثیر دمای لایهنشانی و همچنین حجم نبولایزر در مقاومت سطحی لایهها توسط دستگاه چهار پروب مورد بررسی قرار گرفتهاست و همچنین نمونهها تحت یک شرایط هیدروترمال یکسان بهمنظور رشد نانومیله ها قرار گرفتند و شکل ظاهری نانوساختارها رشد کرده بر روی لایههای ساختهشده توسط تصاویر میکروسکوپ الکترونی مورد بررسی قرار گرفتهاست. چسبندگی لایهها در این حوزه نیز اهمیت بالایی دارد و بهعنوان یکی از پارامترهای مهم در فرآیند هیدروترمال مورد بررسی قرار گرفتهاست. نتایج نشان میدهد که با این روش، نانومیله ها روی دیوارههای ساختار میکرو ماشینکاری رشد پیدا کردهاست که میتواند باعث افزایش کیفیت ادوات مبتنی براین ساختارها باشد. در این مقاله با استفاده از روش نبولایزر به مقامت های سطحی پایین تا Ω/cm2 11 دست پیدا شد. | ||
| کلیدواژهها | ||
| نانومیلههای اکسید تیتانیوم؛ نبولایزر؛ افشانه داغ؛ هیدروترمال؛ مقاومت سطحی | ||
| مراجع | ||
|
| ||
|
آمار تعداد مشاهده مقاله: 1,611 تعداد دریافت فایل اصل مقاله: 982 |
||
| تعداد نشریات | 9 |
| تعداد شمارهها | 455 |
| تعداد مقالات | 5,775 |
| تعداد مشاهده مقاله | 8,418,555 |
| تعداد دریافت فایل اصل مقاله | 6,979,798 |